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管式退火炉-真空退火炉

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详细说明

    退火炉





主要技术参数



◆工艺管数量:可根据客户需求制作为1-4管



◆工艺管口径:Φ90-360mm(3~12英寸)



◆结构型式:卧式热壁型或立式



◆工作温度范围:400~1280℃



◆气体流量设定精度:±1%F.S



◆气路系统气密性: 1×10-7pa.m3/s



◆恒温区长度及精度±0.5℃/1080mm



◆工艺均匀性:≤±5%(30~60欧姆)



◆超净工作台:净化等级:100级(万级厂房)



噪音:≤62dB(A)



震动:≤3μm



◆控制方式: 工业微机控制



◆记录工艺曲线数量及工艺步数不受限制



退火炉用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件、光导纤维等行业中进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺,其关键部件全部采用进口部件,仿国外热处理制造技术,已经被中科院、国内各大院校、国内多家厂家选为长期供货商,可根据客户不同需求定制,厂家直接供货。



我公司可根据客户需求个性化定制实验室科研退火炉、管式退火炉,管式真空退火炉、管式扩散炉、管式烧结炉、管式合金炉等高温电炉,厂家直接供货,欢迎广大用户来电咨询。

 
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